要嚴格按真空設備操作規程執行。
(1)啟動前檢查電氣系統、各真空泵、各真空閥、機械、測量、壓縮空氣、冷卻系統等。合上總電源,通水,啟動空氣壓縮機。啟動機械真空泵,天冷時要斷續啟動。
(2)機械真空泵運轉正常后,打開低真空閥。開低真空測量,待達到要求壓力時開預抽閥,加熱擴散泵,50min后投入工作。關閉低真空閥,打開主閥。
(3)低真空達到一定真空度后,進行高真空測量。當高真空達到要求真空度后,即可接通電源開始工作。
真空泵完成工作后。
(1)切斷電爐電源,等爐溫降到一定溫度后,關閉擴散泵加熱電源。在抽預真空狀態下,等油增壓泵降油溫,然后關真空閥,關機械真空泵,后關冷卻水和總電源。
(2)工作結束后,應及時填寫設備使用記錄及相關文件,整理及打掃工作現場,消滅事故隱患。