產(chǎn)品名稱:氬氣- Argon gas
濃度(V/V): 99.999%
質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn):GB/T4842-2006
簡單說明:氬氣時(shí)目前應(yīng)用廣的惰性氣體。用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、冶煉、切割、焊接等。
Ar純度(%):99.9/99.99/99.999
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- 規(guī)格:4/8/10/40L
- 容器:鋼瓶/鋁瓶/杜瓦罐/槽車
- 充裝量(Mpa):12-13
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規(guī)格 純度% 高純氬 99.9999/99.999 工業(yè)氬 99.9 液氬 99.999