二氯二氫硅 (SiH2Cl2)
項目名稱
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純度指標(%) | |
二氯二氫硅 |
≥99.7
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雜質含量(ppm)
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一氯甲硅烷(CH5ClSi)
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≤800 |
三氯氫硅(SiHCl3) |
≤2000
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≤300 | |
惰性氣體(Inert Gases) |
≤1000
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其他(Others)
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≤2
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包裝:采用44L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要分裝到8L的氣瓶中。
用途:用作電子氣、外延、化學氣相淀積。
理化性質: 二氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性窒息氣味和腐蝕性的無色有毒氣體。空氣中易燃,100℃以上能自燃,燃燒氧化后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100℃以上時會自行分解而生成、氯、氫和不定性硅。施以強烈撞擊時也會自行分解。在濕空氣中產生腐蝕性煙霧。遇水水解生成和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于、與堿、、起反應。即使接觸小量鹵素或其它氧化劑也會發生激烈反應。與三烷基胺、吡啶形成加成化合物。與三氟化銻反應生成氟硅烷。
注意事項:氣體用鋼瓶貯裝,鋼瓶要存放在陰涼干燥通風的室外或強制通風的室內,要遠離氧化劑、火源和熱源。設備管道等使用前須脫水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息性氣味來檢漏。所有設備管道要接地。設備或裝置暫時不用或延長停產時間時,應把二氯硅烷放出來,充入干燥的惰性氣體。有水分時二氯硅烷呈強酸性,腐蝕性極強。對無水二氯硅烷可用鐵、低合金鋼、鎳鋼、銅鎳合金、鎳、海帕倫、蒙乃爾、銀、金、鉑、鉭。不能用鋁、鋁合金、銅硅合金、黃銅等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、天然橡膠、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃燒的地方避免使用可燃性材料。當發生火災時,首先要關閉氣瓶閥,斷絕氣源。滅火時,如果用水,則產生大量氯化氫,如果用堿性粉末,則產生,因此這兩者都不可用。可以用二氧化碳和砂子。廢氣可用水或苛性鉀等堿液吸收,可以用相應的吸附劑吸附,也可以在嚴格控制下燃燒。
二氯二氫硅氣體