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KJ-T1200-S6015LK1-4Z5S多路混氣管式PECVD系統(tǒng)，由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成。
混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應物的活性，這些具有反應活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學反應沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）。
設備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、裝飾等領(lǐng)域。
多晶纖維爐膛，節(jié)能耐腐蝕重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時、耐高溫、耐腐蝕、保溫性好，能滿足何種快速燒結(jié)的要求。
爐管采用高純度石英玻璃材料工藝加工具有極低的熱膨脹系數(shù)、耐高溫、化學穩(wěn)定性好、電絕緣性好。
雙層內(nèi)膽爐殼，配有風冷系統(tǒng)，快速升降溫整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高達1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
法蘭采用雙環(huán)密封技術(shù)有效的提高了法蘭的氣氛性，法蘭上裝有多種接頭，可接電阻真空計、真空波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。
內(nèi)嵌式合金電熱絲，升溫快，壽命長加熱元件采用內(nèi)嵌式合金電熱絲，發(fā)熱效率高、耐高溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快、壽命長、高溫變形小、安裝維修方便，使用壽命長。
微電腦PID控制器，操作簡便操作簡便，控溫精確、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化復雜的試驗過程，真正實現(xiàn)自動控制和運行。
爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表，爐子加熱狀態(tài)一目了然。
| 管式爐系統(tǒng) | |
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爐管尺寸 |
直徑60mm |
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加熱區(qū)長度 |
440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制) |
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正常工作溫度 |
1100℃ |
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高工作溫度 |
1200℃ |
| 加熱元件 | 摻鉬合金加熱絲 |
| 爐膛材質(zhì) | 采用日本進口爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強 |
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控溫方式 |
智能化30段可編程控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示） |
| 真空系統(tǒng) | |
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高真空分子泵組，高真空復合真空計
前級泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接 |
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質(zhì)子流量計 |
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高精度質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量 氣體流量范圍為0-500ＳＣＣｍ 誤差為0.02% 出氣真空壓力表，內(nèi)置氣體混氣系統(tǒng)， 不銹鋼針閥計管道，標準雙卡套接頭 |
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射頻電源系統(tǒng) |
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輸出功率 |
50-500W大可調(diào)±1% |
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RF頻率 |
13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005% |
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噪聲 |
≤55DB |
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冷卻 |
風冷 |
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輸入功率 |
1KW AC 220V |
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提供相關(guān)配件 |
氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、防燙罩、剛玉坩堝、爐塞 |
| 電氣認證 | CE認證 |
| 售后服務 | 12個月質(zhì)保、終身保修 |
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