且隨著生產(chǎn)工藝參數(shù)變化而變化,為了提高薄膜橫向厚薄均勻度,須引進(jìn)自動橫向厚薄控制系統(tǒng),常用控制方法有自動模頭(熱膨脹螺絲控制)和自動風(fēng)環(huán),這里主要介紹自動風(fēng)環(huán)原理與應(yīng)用。
基本原理:
自動風(fēng)環(huán)結(jié)構(gòu)上采用雙風(fēng)口方式,其中下風(fēng)口風(fēng)量保持恒定,上風(fēng)口圓周上分為若干個風(fēng)道,每個風(fēng)道由風(fēng)室、閥門、電機(jī)等組成,由電機(jī)驅(qū)動閥門調(diào)整風(fēng)道開口度,控制每個風(fēng)道風(fēng)量大小。
控制過程中,由測厚探頭檢測到薄膜厚薄信號傳送到計算機(jī),計算機(jī)把厚薄信號與當(dāng)前設(shè)定平均厚度進(jìn)行對比,根據(jù)厚薄偏差量以及曲線變化趨勢進(jìn)行運(yùn)算,控制電機(jī)驅(qū)動閥門移動,當(dāng)薄膜偏厚時,電機(jī)正向移動,風(fēng)口關(guān)小;相反,電機(jī)反向移動,風(fēng)口增大,通過改變風(fēng)環(huán)圓周上各點風(fēng)量大小,調(diào)整各點冷卻速度,使薄膜橫向厚薄偏差控制在目標(biāo)的范圍。